Brod za čišćenje kvarcnih napolitanki
Brod za čišćenje kvarcnih pločica je uređaj koji se koristi za čišćenje pločica u procesu proizvodnje poluvodiča.
Materijal: 99,99% kvarc
Opis
Značajke
- Otpornost na visoke temperature
- Otpornost na koroziju
- Otpornost na habanje
- Jednostavan za čišćenje
Upotreba: ukloniti površinske nečistoće
Osigurati kvalitetu proizvodnje poluvodičkih čipova.
Primjena
1. Pred-difuzijsko čišćenje
Koristi se za prijenos pločica kroz korake mokrog stolnog čišćenja ili čišćenja uranjanjem (npr. RCA čišćenje) za uklanjanje organskih, metalnih i čestičnih kontaminanata prije visoko{2}}temperaturne difuzije ili procesa oksidacije.
2. Post-CMP (Chemical Mechanical Planarization) čišćenje
Drži pločice tijekom čišćenja nakon-poliranja kako bi se uklonili ostaci kaše i površinski nedostaci, osiguravajući optimalnu ravnost za sljedeće korake litografije.
3. Izrada prednjeg-kraja--linije (FEOL)
Upotrebljava se u kritičnim fazama čišćenja FEOL-a gdje su potrebne ultra{0}}čiste površine za rast oksida vrata, epitaksijalno taloženje ili ionsku implantaciju.
4. Obrada zadnjeg-kraja--linije (BEOL)
Podržava pločice tijekom čišćenja nakon-jetkanja ili nakon-taloženja radi uklanjanja fotootpornog materijala, nusproizvoda jetkanja i metalnih nečistoća nakon formiranja međuspoja.
5. Napredno pakiranje
Olakšava čišćenje razine-vafera prije rezanja ili spajanja u 2.5D/3D IC pakiranju, osiguravajući sučelja-bez kontaminacije za pouzdane međusobne veze.
6. Fotonaponska proizvodnja
Koristi se u proizvodnji solarnih ćelija za čišćenje silikonskih supstrata, poboljšavajući kvalitetu površine za poboljšanu apsorpciju svjetlosti i učinkovitost pretvorbe energije.
Svojstva
|
Fizička svojstva |
Vrijednosti |
|
Čistoća |
＞99.99% |
|
Gustoća |
2,2 g/cm33 |
|
Transparentnost |
＞90% |
|
Mohsova tvrdoća |
5.5--6.5 |
|
Točka deformacije |
1280 stupnjeva |
|
Točka omekšavanja |
1750 stupnjeva |
|
Točka žarenja |
1250 stupnjeva |
|
Specifična toplina (20 - 350 stupnjeva) |
670J/kg. stupanj |
|
Toplinska vodljivost (20 stupnjeva) |
1,4 W/m. stupanj |
|
Toplinska vodljivost (w/mk, 1000 stupnjeva) |
1.0-1.2 |
|
Indeks loma |
1.4585 |
|
Koeficijent toplinskog širenja |
5.510 -7cm/cm. stupanj |
|
Vruća - radna temperatura |
1750--2050 stupnjeva |
|
Kratkotrajna radna temperatura - |
1450 stupnjeva |
|
Dugotrajna radna temperatura - |
1100 stupnjeva |
|
Kemijska svojstva |
Vrijednosti |
|
Otporan na kiseline |
Jaka kiselina (osim HF), jaka lužina, organska otopina |
|
Visoke temperature Otporan na koroziju |
Izvrsno |
|
Sadržaj metalnih nečistoća |
<5 ppm |
|
Električna svojstva |
Vrijednosti |
|
Otpornost |
7107Ω.cm |
|
Izolacijska čvrstoća |
250~400Kv/cm |
|
Dielektrična konstanta |
3.7~3.9 |
|
Koeficijent dielektrične apsorpcije |
＜410-4 |
|
Koeficijent dielektričnog gubitka |
＜110-4 |
|
Mehanička svojstva |
Vrijednosti |
|
Tlačna čvrstoća |
1100 MPa |
|
Čvrstoća na savijanje |
67 MPa |
|
Vlačna čvrstoća |
48 MPa |
|
Poissonov omjer |
0.14~0.17 |
|
Youngov modul |
72000 MPa |
|
Modul smicanja |
31000 MPa |
Metode čišćenja
Čišćenje uranjanjem:
Stavite oblatnu u čamac za čišćenje, zatim uronite čamac za čišćenje u tekućinu za čišćenje i povećajte kontakt između tekućine za čišćenje i površine oblatne podizanjem čamca za čišćenje kako biste poboljšali učinak čišćenja.
Čišćenje sprejom:
Postavite čamac za čišćenje uspravno u komoru za prskanje i upotrijebite mlaznicu za prskanje tekućine za čišćenje na površinu ploče kako biste uklonili onečišćenja.
Važnost čišćenja plovila:
- Osigurajte čistoću pločice: Čista površina pločice presudna je za kvalitetu proizvodnje poluvodičkih čipova, a brod za čišćenje igra ključnu ulogu u procesu čišćenja.
- Osigurajte pouzdanost poluvodičkih čipova: Osigurajte pouzdanost čipova i smanjite nedostatke proizvoda uklanjanjem površinskih kontaminanata.
- Poboljšajte iskoristivost poluvodičkih čipova: Poboljšajte čistoću pločica, čime se poboljšava iskoristivost poluvodičkih čipova.
Popularni tagovi: brod za čišćenje kvarcnih pločica, proizvođači, dobavljači, tvornica brodova za čišćenje kvarcnih pločica u Kini
Pošaljite upit
Mogli biste i voljeti
